高純氣體供應目前主要有三種輸送形式

　　1.采購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶供氣。某個項目，采用何種方式，主要根據公司項目的生產規模及氣體耗量，和工廠所在城市的氣體市場供應等經過技術經濟比較后確定。

　　2.現場制做氣，管道輸送供氣方式

　　3.外購液態氣體，氣化后管道輸送供氣方式

　　4.管道閥門連接高純氣體管道與閥門等附件連接應采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR和進口件采用優良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統，而進口件則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

　　5.管道安全閥連接安全閥是啟閉件受外力作用下處于常閉狀態，當設備或管道內的介質壓力升高超過規定值時，通過向系統外排放介質來防止管道或設備內介質壓力超過規定數值的特殊閥門。安全閥屬于自動閥類，主要用于鍋爐、壓力容器和管道上，控制壓力不超過規定值，對人身安全和設備運行起重要保護作用，注安全閥必須經過壓力試驗才能使用。

　　6.管道針型閥連接針型閥形比其他類型的閥門能夠耐受更大的壓力,密封性能好,所以一般用于較小流量較高壓力的氣體密封.針型閥與壓力表配合使用是最合適的了.一般的針型閥形都做成螺紋連接。

　　7.管道卡套接頭連接卡套接頭即使是同一廠家一批貨，這幾種接頭體上錐形孔的深度往往不相同，結果就造成了泄漏，而此問題往往被忽視。正確的做法是，管子一端用什么樣的接頭體連接，即對應的連接端則用相同類型的接頭預裝，這樣能最大限度地避免出現泄漏問題。卡套連接安裝方便可以提高工作效率現在各行各業用得比較廣泛，比焊接穩定性差一點。

　　8.螺紋連接螺紋連接對大宗氣體，且純度要求不高的氣體管道，當采用鍍鋅鋼管時，采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料采用聚四氟乙烯密封帶，不得采用傳統的油麻。密封帶纏繞要得當。不能纏繞的太厚、過長，纏繞太厚或纏繞過多超出管螺紋端頭坡口的話，在螺紋旋緊時，密封帶會被絲咬切下，落人管道內形成較大的污染物，因此端口螺紋從坡口始，留出2-3個凸牙不纏繞密封帶是必要的。

　　9.對焊連接對于要求純度很高的管道，采用內壁無瘢痕的對接焊。高純氬氣保護焊。

　　10.承插焊對于純度要求相對低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊由于氣體殘留空間比較大。