高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質量。因此，要理解安裝氣體質量的重大意義、要求嚴格遵守設計、施工要求，工作嚴肅認真、一絲不茍，高度重視各個細小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。

　　潔凈室氣體管道安裝要求

　　1.外觀的檢查工作

　　(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門及所有附件，嚴格設計要求選用，不得隨意更改或代換。

　　(2)所有管材應放在室內精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

　　(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破裂。

　　(4)管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查:

　　1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

　　2)無銹蝕、蝕斑等現象。

　　3)管子平直、圓滑，無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。

　　4)管材內表面的“粗糙度”是否符合設計要求，螺紋處密封、保護是否良好。

　　5)外購成品“內表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關等級證書和資質證明。應隨機抽樣做顯微鏡下檢驗，必須符合設計要求。

　　6)檢查成品“內表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

　　7)法蘭的密封面應當平整、光滑，不得有毛刺及徑向溝槽，凹凸法蘭應當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

　　8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應當質地柔軟、無老化及分層現象，表面不得有折損、皺紋等現象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。

　　2.配管的準備工作

　　(1)無論多大壓力、何種介質及何種用途的配管，下料時均不得采用氧、乙炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。

　　(2)管子切口應當與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

　　(3)各種閥門應在安裝前清洗，清洗前先應研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應當重新試壓。

　　(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設計要求。

　　(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應當將原管放入清洗槽內清洗。管道內壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

　　(6)氧氣管路的閥門、附件等，應當嚴格禁油，并在安裝前按有關要求嚴格脫脂。

　　3.金屬管道的連接

　　(1)管道材質。用于輸送高純氣體的金屬管道材質主要有:

　　1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

　　2)銅管。在半導體企業(yè)中，個別生產工藝如砷化鎵的操作，為了防止產生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。

　　(2)連接方式:

　　1)焊接。高純、高潔凈氣體管道，原則上采用焊接，但不能直接對焊，應采用套管接頭。

　　a不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊，同時管內通入同等純度的氬氣，防止焊接部位氧化。

　　b鋼管的焊接:采用40%銀焊條，氮氣保護焊，管內通入工藝氣體同等純度的氮氣。但要注意，一旦氮氣中斷或氮氣純度下降，會在焊口附近生成銅的氧化物，產生浸潤表面的可能性。所以，當銅管焊接完畢后，要用浸漬丙酮的紗布來回擦拭管內，消除焊接處可能產生的氧化物。

　　2)螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接的好，不適用于高純、高潔凈氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘渣有帶入氣體的危險，而且內外螺紋旋緊時，金屬間的摩擦會產生金屬粉塵粒子，污染氣體。如確實必要，應在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時，在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊條，提高密封效果，盡可能減少金屬粉塵。

　　3)法蘭連接。螺紋或法蘭連接處的密封材料應采用聚四氯乙烯，為確保密封效果，在墊片上涂敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。

　　(3)管路附件的使用:

　　1)管路附件的材質的選用原則應與管材的選用原則一致。

　　2)在采用銅材的管路系統(tǒng)中，可以使用不銹鋼材質的管道附件;但在不銹鋼材質的管路系統(tǒng)中，不容使用銅制材料的管道附件。