高純氣體管道系統布置不同于普通氣體管道，一般要求管線不應大長，不應出現不易吹掃干凈的“盲管”等死角。在干管或支管末端設置必要的吹除口和取樣口。在一些非連續運行的用戶，在管道末端連續不斷的小氣量放空，以使管道內氣體常流動，不會出現“死空間”。根據過程氣體質量要求，必要時還要布置末端凈化裝置。一般在進入潔凈廠房的高純氣體管道的控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等，集中設在氣體人口室內，便于統一管理和控制。

　　氣體管路工程供氣方式

　　氣體管路工程氣瓶區域用管路引進。除了儀器空氣(工廠空氣)是工廠直接生產外，其余氣體都是采用高壓氣瓶柜供氣。安裝半自動轉換閥控制氣瓶更換，主要的控制閥門和減壓閥門都安裝在室外。氣體管路主要材質為不銹鋼，安裝在天花板下方，沿著墻走，這樣便于檢查和維修。

　　高純氣體管路工程管路處理規范

　　1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現場的焊接工作量，確保潔凈度，所以管道的施工先在1000級的預制間中預制，施工人員應穿潔凈服，使用的工機具應保證潔凈，另外施工人員應有較強的潔凈意識，施工過程盡量減少對管子的污染。

　　2、管道的下料管道下料使用的是專用的切管工具，切出的端面絕對和管軸心線垂直，切管時應采取措施避免外界的灰塵、空氣對管子內部的污染，下好的料應分組編號以便于組對焊接。

　　3、管道焊接，管道焊接前應先編制焊接程序輸入到自動焊機，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數一直儲存在焊機里，自動焊機焊接時又非常穩定，所以焊縫質量也是合格的。焊接質量由微機控制，減少了由于人為因素對焊接質量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質的焊縫。

　　高純氣體管路施工的要求

　　1、焊接管道須通惰性氣體(氮氣)進行焊接保護。

　　2、管與管的連接、管與閥門的連接應采用套焊、插接焊。

　　3、管道系統中應設置區域閥箱。

　　4、終端設備帶要求氣、電管線分腔。